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工控人家園 程序樣例 用于半導體硅片擴散源噴涂的設備程序

dayug

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樓主發(fā)表于: 2011-05-19 23:43

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一種用于半導體硅片擴散源噴涂的設備程序。分XY軸，使用步進電機。三菱PLC。

附件：

噴源機.rar (10 K) 下載次數(shù):269
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yerong

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1樓發(fā)表于: 2011-05-20 07:06

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有電路圖嗎？？

工控人家園 程序樣例 用于半導體硅片擴散源噴涂的設備程序

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